IWAKI易威奇/驱动计量泵/化光刻胶分配泵

IWAKI易威奇/驱动计量泵/化光刻胶分配泵PDS-105R

IWAKI易威奇/驱动计量泵/化光刻胶分配泵PDS-105R

产品特点：

●大幅度的省抗蚀剂
由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，

排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度

•喷出精度：±0.3%（F.S.）
•直线性：±0.5%（F.S.）
•分辨率：0.01mL
●无污染
泵部采用了内表面平滑、死区体积小的管板结构。几乎没有抗蚀剂液的滞留部，可以防止粒子的产生
●支持多种涂层工艺
由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺
●缩短停机时间

我司主打品牌明细表：

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化学品：SHINETSU信越化学、THREEBOND三键、TOAGOSEI东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西、

设备类产品:、ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和电机、、OSAWA大泽、TROAY东丽、EOLUS真空企业株式会社、KOTOHIRA琴平工业、REVOX莱宝克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤炉、鈴与工業株式会社纳豆生产设备、IKURATOOLS育良精机、ANLET安耐特、ARIMITSU有光工业、Kitagawa北川、

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新能源动力电池：日本旭精工、熊谷理机。