IWAKI易威奇/驱动计量泵/光刻胶分配泵

IWAKI易威奇/驱动计量泵/光刻胶分配泵PDS-H115

IWAKI易威奇/驱动计量泵/光刻胶分配泵PDS-H115

产品特点：

●大幅度的省抗蚀剂

由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，

排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度

•喷出精度：±0.3%（F.S.）
•分辨率：0.01mL
●支持多种涂层工艺
由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺
●缩短停机时间

●适用于高粘度用途

我司主打品牌明细表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁礼、KAIJO 楷捷、OHM欧姆电机、NIPPONMUKI日本无机、SUIDEN瑞电、TACMINA泰克米纳、AMANO安满能、NIDEC-SHIMPO尼得科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、

化学品：SHINETSU 信越化学、THREEBOND 三键、TOAGOSEI 东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西、

设备类产品: 、 ONIKAZE 赤松、 SHOWADENKI 昭和电机、、 OSAWA大泽、TROAY东丽 、EOLUS真空企业株式会社、KOTOHIRA琴平工业、REVOX莱宝克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC 隧道式烘烤炉、鈴与工業株式会社 纳豆生产设备、IKURATOOLS育良精机、 ANLET安耐特、ARIMITSU有光工业、Kitagawa北川、

FA自动化: KONSEI 近藤、 CKD喜开理 、 IMAO今尾、二宫电线NINOMIYA、TAIYO太阳电线、TONE 前田、EYE岩崎、S-VSNAS、AND、microStone品牌 、USHIO牛尾、ETOH江藤 、SONOFILE松泰克、SUZUKI铃木 、MIRAI未来工业、COSMOS新宇宙（SDM-72、SDM-73）、KETT凯特、FUNATECH船越龙、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝国TEIKOKU、仲精機NAKASEIKI、

小众产品：IRI软水机、USUTANI臼谷电子 点焊机、CNK磁性分离器、HIMU 静音消除器、NAC油水分离器、BL DYNAMICS气泡发生装置、工业CT无损检测 国产（可提供技术支持与方案）、hibikicorp、

新能源动力电池： 日本旭精工、熊谷理机