FUJI富士工业 CMP化学药液专用单组分浓度计

FUJI富士工业 CMP化学药液专用单组分浓度计 FUD-1 Model-13

FUJI富士工业 CMP化学药液专用单组分浓度计 FUD-1 Model-13

单组分浓度计特点
可实时测量浓度，浓度管理系统构建简单。模拟DC4-20mA和数字RS232C是标准设备。
标准配备测量误差输出和报警输出
标准配备自诊断功能和错误信息显示
小型、轻量的单元型发射器可以直接安装在生产线上。
接液部件材质采用PFA，小产量设计对化学溶液无影响。

优点
可实现高精度连续测量
免维护，无需定期调整或校准
安装方便，安装过程中无需进行各种调整
通过实时输出轻松反馈流程

目的

• CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度管理等

• 稀释过程中各种化学品浓度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗过程中清洗液浓度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蚀刻过程中蚀刻液浓度控制（HF、H2SO4等）

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